拡散接合ビューイングポートとは
ビューイングポートとは真空装置の中を覗き見るための窓です
金属製の真空フランジにガラス窓を取り付けた製品です
拡散接合ビューイングポートはICFフランジ* (コンフラットフランジ)に窓を取り付けています
*ICFフランジ...ガスケットが金属ガスケット (銅ガスケット)で ベーキング可能なフランジです
ビューイングポートの応用分野について
拡散接合ビューイングポートは **高真空・超高真空の装置に取り付けて利用します
超高真空・高真空を必要とする装置には次のようなものがあります
> 半導体の製造装置 ... 蒸着装置 スパッタ装置 CVD装置 MBE装置 など
> 分析装置 ... 電子顕微鏡 加速器 各種分析管 など
> 核融合・自由電子レーザー など