拡散接合ビューイングポート (ICF70サイズ)

■ 概要

石英ガラス窓板とフランジを、アルミニウムを介して接合
超高真空に対応したビューイングポートです
高温・高速昇温のベーキングに対応します

 

■ 特徴

超高真空に対応します

(現在より詳しく検証中)

高温・高速昇温のベーキングに対応しています (特許取得済み技術によります)
　〇 耐熱温度：500度 max
　〇 ベーキング温度：検証前 (400度程度までのベーキングが期待できます)
　〇 昇温速度：10℃/min 以下を推奨
　〇 降温速度：10℃/min 以下を推奨

＊昇温速度 10℃/min にて500度までのベーキングをパスしたものが製品となります
＊原理的に低温域での利用も可能です (検証前 液体窒素温度までを検証予定)

 

■ 外径寸法

〇 フランジ直径：70mm
〇 フランジ厚み：12.5mm
〇 石英窓板直径：38mm
〇 石英窓厚み：2.5mm
〇 開口部直径：34mm

 

■ その他

特別注文への対応も視野に入れています
　例：石英ガラス以外の窓材　表面コート品の接合　レンズの接合　任意サイズ品への対応 など

 

■ 特記事項

記載の内容には検証中・検証前のものが含まれます (2020年9月1日現在)

 

■ 特許

特許第6575918号
ガラスまたはセラミックと金属を接合して構成する窓の構造および製造方法